自動量測系統 改善半導體製程

　

台科大機械工程所學生黃永光與陳暐設計之自動化曲率與曲面量測系統，獲得第一名。圖╱陳映儒攝。

　【記者陳映儒台中報導】「2014半導體製程設計與先進設備專題競賽」10月30日於中興大學舉行，來自北中南六組參賽隊伍自訂主題進行研究並製出成品，解決當前半導體產業問題，並推動製程設備國產化。

　台灣科技大學機械工程所學生黃永光和陳暐設計的「自動化曲率與曲面量測系統」獲得第一名。作品外觀如簡易型顯微鏡，採用非破壞性的疊紋法量測晶圓外型、驗證透鏡曲率。黃永光舉例說明，若相機如果使用曲率不正確的透鏡，拍攝的照片就會不清晰。

　評審委員、中興電機工程系教授裴靜偉指出，由於晶圓在半導體製程中可能受熱彎曲，導致曲率改變，影響製作成果。自動化曲率與曲面量測系統持續監測透鏡曲率，可以在曲率改變時做出修改製程或停機等應變，減少耗損。他認為，此設計無論學理面或實作面皆可行，未來有應用可能，惟設備完整度和校準機制需補強。

　第三名為中山大學學生設計之「UV LED結合高反射金屬玻璃膜之創新節能曝光設備」，以LED燈取代汞燈管減少耗能。傳統曝光機須用複雜透鏡組、發散光源達到大面積均勻曝光，但透鏡組合需精密計算較為麻煩，中山機械與機電工程系學生鄭鈺庭說：「我們利用LED燈八種排列陣，模擬光照曝光情況。」捨棄複雜透鏡組合，也達到相同曝光效果。

　裴靜偉指出，此作品可滿足產業內較基層需求，欲曝光物品單位較大、容易曝光時，可選擇初階的曝光機，以節省成本。

　中興創新產業推廣學院院長洪瑞華指出，國內半導體產業設備多為進口，今年首次和「台灣中部科學園區產學訓協會」合辦專題競賽，藉此激發台灣自製設備的潛力，並搭起學生與產業合作的橋樑。